含行程范圍至1毫米的指南

撓性導(dǎo)軌可實現(xiàn)線性運動，且尖端和傾斜度最小

行程范圍至1毫米

力達(dá)到100 N

堅固，無反沖的結(jié)構(gòu)

配有集成位置傳感器

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

在自適應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)中產(chǎn)生力的理想OEM執(zhí)行器，用于納米壓印工藝或機(jī)床

行程更長，響應(yīng)時間更短或無磁性的定制版本

應(yīng)用領(lǐng)域

納米定位

高速切換

貼片夾

微點膠

自適應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)/自動化

光子學(xué)/集成光學(xué)

生物技術(shù)

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

 

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。

一、Physik Instrumente品牌介紹

PI是運動和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。

PI不僅針對線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器。PI還使這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用，或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

該控件是重要的系統(tǒng)組件，也由PI提供。這不僅提供了復(fù)雜的控制概念，還為應(yīng)用程序環(huán)境提供了硬件和軟件接口。

無論是標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品還是全新開發(fā)的產(chǎn)品，無論是OEM驅(qū)動器還是集成系統(tǒng)，目標(biāo)始終是為每種可能的應(yīng)用提供最佳解決方案。

二、Physik Instrumente產(chǎn)品用途

在許多應(yīng)用領(lǐng)域中必須達(dá)到最大定位精度。半導(dǎo)體制造，顯微鏡，表面測量技術(shù)，生物技術(shù)，醫(yī)學(xué)工程和自動化技術(shù)通常需要具有納米級分辨率和可重復(fù)性的定位系統(tǒng)。除此之外，還要求響應(yīng)時間短，真空兼容的設(shè)計和在寬溫度范圍內(nèi)的功能。

三、Physik Instrumente產(chǎn)品分類

Physik Instrumente納米定位壓電彎曲平臺

Physik Instrumente微型舞臺

Physik Instrumente線性平臺

Physik Instrumente線性執(zhí)行器

Physik Instrumente旋轉(zhuǎn)臺

Physik Instrumentexy平臺

四、Physik Instrumente產(chǎn)品型號；

Physik Instrumente  L-505.021212F

Physik Instrumente  L-505.AP1

Physik Instrumente G-901.R3197

Physik Instrumente P-734.2CL

Physik Instrumente E-501,00  

Physik Instrumente E-503,00  

Physik Instrumente E-509,C3A,

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente L-611.90AD

Physik Instrumente P-563.3CD

Physik Instrumente E-727.3CD

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente E-727.3CDAP

Physik Instrumente C-887.522

Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:

Physik Instrumente U-780.DLS

Physik Instrumente N-565.160

Physik Instrumente N-565.260