竇世文
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PI提供多種多樣的機(jī)動(dòng)化線性平臺(tái)。應(yīng)用的多樣性也意味著線性軸具有多種技術(shù)可能性。行程從數(shù)毫米擴(kuò)展至數(shù)米,精度等級(jí)從納米級(jí)達(dá)微米級(jí):PI使其驅(qū)動(dòng)器、導(dǎo)向或傳感器技術(shù)適應(yīng)于不同的應(yīng)用條件。
大量不同的型號(hào)可提供真空版本。多軸組合可通過(guò)轉(zhuǎn)接支架實(shí)現(xiàn),利用匹配的Z向位移臺(tái)和轉(zhuǎn)臺(tái)還可實(shí)現(xiàn)更加緊湊的結(jié)構(gòu)。
運(yùn)動(dòng)控制器可為臺(tái)式設(shè)備、機(jī)架版本或緊湊型OEM設(shè)備。它們的共同因子是通過(guò)通用指令集(GCS)進(jìn)行指令控制,從而簡(jiǎn)化控制和編程,且不受驅(qū)動(dòng)器類型的限制。
多軸工業(yè)應(yīng)用中帶ACS運(yùn)動(dòng)控制器的多軸系統(tǒng)可供貨。對(duì)于精密和以運(yùn)動(dòng)為中心的工業(yè)應(yīng)用,其可實(shí)現(xiàn)利用現(xiàn)場(chǎng)總線接口進(jìn)行簡(jiǎn)易集成
L-611.9ASD
L-741.131111
L-741.131112
C-815.00SA0316-0300
C-863.11
C-663.12
C-863.12
C-887.52
C-887.523
C-884.4DC
P-891.05
C-891.120200
C-891.130300
V-508.9B1020
E-727.3CDA
E-663.00
E-664.S3
E-625.SR
M-060.DG
M-531.PD
M-110.12S1
M-110.12S1
P-176.60
P-611.1S
P-611.3S
P-725.4CD
P-844.10
P-622.2CD
P-895.2DDC
H-811.I2
H-811.S2
H-850.G2A
H-860.S2H
H-811.F2
V-508.251020
V-551.7B
V-508.9B2020
DT-34
71609601
C-815.00UP0114- 0300
M-417.2PD
PD72Z4CAQ
PI的納米定位平臺(tái)和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量,微觀過(guò)程,干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。
帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺(tái)可用于最大1.5 mm的行程。
型號(hào)介紹:
壓電撓性線性平臺(tái)
P-630高動(dòng)態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)
1軸大孔徑
P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺(tái)
動(dòng)態(tài)穩(wěn)定
P-752高精度納米定位臺(tái)
高動(dòng)態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀,具有極其精確的引導(dǎo)
PI P-750
P-750壓電納米定位系統(tǒng)
具有直接計(jì)量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動(dòng)納米定位系統(tǒng)
P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)
廉價(jià),緊湊的線性定位系統(tǒng)
PI P-712
P-712線性壓電掃描儀
緊湊型OEM系統(tǒng)
P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器
可變行程范圍和軸配置
壓電撓性垂直平臺(tái)
P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器
可變行程范圍和軸配置
S-303壓電移相器
高動(dòng)態(tài),納米級(jí)精密壓電移相器
P-733.Z高動(dòng)態(tài)Z納米定位儀/掃描儀
直接位置測(cè)量和通光孔徑
P-612.Z壓電Z舞臺(tái)
帶孔的緊湊型納米定位器
P-611.Z壓電Z舞臺(tái)
緊湊型納米定位器
特色定制
PI P-725KHDS
P-725KHDSPIFOC®高動(dòng)態(tài)物鏡掃描儀
重型物鏡的納米分辨率