這些緊湊型定位系統(tǒng)可沿X和Y方向工作，其行程為100至300毫米，速度可達(dá)500毫米/秒，并且能夠以高重復(fù)精度定位（單向重復(fù)精度可達(dá)0.05微米）。集成的高分辨率線性編碼器直接在平臺上測量位置；因此，非線性效應(yīng)、機(jī)械游隙或彈性變形不會對位置測量造成任何影響。此外，具有平坦輪廓的平面設(shè)計很大程度地減少了堆疊誤差并提高了剛度。100毫米的變型（圖）在中心同樣具有大孔徑，因此可以從上方或下方接近樣本或工件。

 

XY位移平臺由PI控制器或基于EtherCAT的ACS控制模塊控制，該模塊還提供基于事件的觸發(fā)，以控制與運動模式相關(guān)的激光或測量工具。

選擇適應(yīng)不同要求的電機(jī)

 

線性電機(jī)直接驅(qū)動（V-731、V-738和V-741）或步進(jìn)和直流電機(jī)（L-731、L-738和L-741）是XY位移平臺的原動力。三相磁性線性電機(jī)省去了動力傳動系統(tǒng)中的機(jī)械組件，并將驅(qū)動力直接傳輸?shù)竭\動平臺且不會產(chǎn)生任何摩擦。這意味著可以實現(xiàn)高達(dá)500毫米/秒的速度。無鐵芯電機(jī)非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù)，因為其不會與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這么一來，即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運行，且在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。

 

L-731、L-738和L-741 XY位移平臺的工作速度可達(dá)90毫米/秒?？梢允褂貌竭M(jìn)電機(jī)或直流電機(jī)驅(qū)動精密滾珠絲杠。兩相步進(jìn)電機(jī)在較低的速度下也會產(chǎn)生高扭矩；對于要求高運行平穩(wěn)性和較高速度的應(yīng)用，建議使用直流電機(jī)變型。

 

PI簡介

 

PI (Physik Instrumente)是全球精密定位技術(shù)市場的佼佼者，多年來以其優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品而聞名。 在使用壓電或電機(jī)驅(qū)動器的標(biāo)準(zhǔn)及OEM產(chǎn)品的開發(fā)和制造方面，PI擁有40年的歷史。ACS是多軸高精度驅(qū)動器系統(tǒng)用模塊化運動控制器的開發(fā)商和制造商，通過收購其大多數(shù)股份，PI在為要求高精度和動態(tài)的工業(yè)應(yīng)用提供整套系統(tǒng)的方面又向前邁進(jìn)了重要一步。PI集團(tuán)分布全球，除了在德國設(shè)有四個基地之外，在其他國家和地區(qū)還設(shè)立了總共十五個銷售和服務(wù)分部。